净化风机过滤器
| 型号 | 处理风量 (m3 /min)* |
除尘效率 | ||
|---|---|---|---|---|
| PAU-01FFU | 约0.8/0.9以上 | 0.3 μm 粒子 99.97% 以上捕集 | 产品详情 | |
| PAU-03FFU | 约2.8/3.0以上 | 0.3 μm 粒子 99.97% 以上捕集 | 产品详情 | |
| PAU-05FFU | 约4.8/5.0以上 | 0.3 µm 颗粒为 99.97% 或更多 | 产品详情 | |
| PAU-A11FFU | 11个或更多 | 0.3 μm 粒子 99.97% 以上捕集 | 产品详情 | |
| PAU-A14FFU | 约14以上 | 0.3 μm 粒子 99.97% 以上捕集 | 产品详情 | |
| PAU-A17FFU | 17个或更多 | 0.3 μm 粒子 99.97% 以上捕集 | 产品详情 | |
| PAU-A11FFU-ULPA | 9个或更多 | 0.1 μm 粒子为 99.999% 以上 | 产品详情 | |
| PAU-A14FFU-ULPA | 12个或更多 | 0.1 μm 粒子为 99.999% 以上 | 产品详情 | |
| PAU-A17FFU-ULPA | 约14以上 | 0.1 μm 粒子为 99.999% 以上 | 产品详情 |
* 空载时的平均值。
净化风机过滤器的特点
空气净化装置（FFU）
使用 HEPA 过滤网 提供清洁空气
风机内装配HEPA 过滤网，提供洁净空气。
功能多样 保持洁净度
新开发 电热丝电阻式风速传感器
防止换气次数降低
配备新开发的带电热丝电阻的风速传感器。传感器检测由于过滤器堵塞的风速损失，以防止换气次数随着风速下降而下降。
堵塞诊断功能
防止过滤网堵塞引起的风速下降
当因过滤网堵塞等导致风速下降时，会自动发出警报，并可输出外部警报。用于设置风速级别阈值的可变微调器也作为标准配件安装。
可变风速控制功能（05FFU）
风量低时可提高风速
内置在过滤器中的换气扇可以调节风量。风量的微小调节或由于压力损失风量下降时都可以提高风量。
日常维护轻松简单
一键式锁定 顶部维护型 (01FFU - 05FFU)
无需工具 轻松更换
采用一键式锁定，可轻松更换 HEPA 过滤网。无需工具即可拆卸和更换 HEPA 过滤器。
侧吸式（A11FFU～A17FFU）
最大限度地减少与天花板的间隙
通过从过滤器的侧面吸入外部空气，可以将与天花板的间隙保持在最低限度。在无尘室设置场所的房顶较低或洁净室主体的高度和尺寸较大时作用明显。
底部维护型（A11FFU～A17FFU）
避免在高处维护
HEPA 过滤网可以从加工室内部更换。可以避免在高处进行维护。
轻松打造洁净环境
与恒温恒湿精密空调机（TCU/ECU）组合还可以控制温度和湿度
通过将恒温恒湿精密空调机（TCU/ECU）与风扇过滤器相结合，可以轻松构建洁净的环境。 PAU装置产生的精密空气通过HEPA过滤网，可就地供应高洁净度的洁净空气。而且，您可以根据目标空间的体积和所需的洁净度等级来选择洁净机组，轻松实现“温湿度控制”和“最佳洁净环境”。
过滤网种类
| 高性能过滤网 | 高效过滤网 | ULPA过滤网 | |
|---|---|---|---|
| 使用清洁度等级 | class 10～200,000 | class 100～10,000 | class 1～10 |
| 使用举例 | 一般办公室等 | IC后制程、液晶制程等 | IC前制程等 |
| 捕捉能力 | 比粗尘过滤网更高 | 99.97% 的 0.3 μm 颗粒 |
99.99% 0.1 μm 颗粒 |
ULPA 规范可兼容
过滤等级也可以提升到超高性能过滤网(ULPA)。 *货期请另行咨询。
清洁度规格
| 等级 | 100 | 1,000 | 10,000 | 100,000 |
|---|---|---|---|---|
| 换气次数 | 250～400次 | 150次 | 75次 | 20次 |
| 粒子数 | 3,530/m 3 | 35,300/m 3 | 353,000/m 3 | 3,530,000/m 3 |
| 100/ft3 | 1,000/ft3 | 10,000/ft3 | 100,000/ft3 | |
| 风速 | 0.2～0.4m/s | 0.1～0.2m/s | 0.05～0.07m/s | 0.05～0.04m/s |