冷水机技术资料 1-2．氟基惰性液体

本节介绍氟基惰性液体的种类、性质和主要应用。

什么是氟基惰性液体？

含氟有机溶液的总称，包括全氟聚醚（PFPE）、全氟化碳（PFC）和氢氟醚（HFE）等溶液。
3M的FluorinertTM和Solvay的Galden®是市售产品，由于它们电绝缘性高、化学惰性高且无毒，因此可用于多种用途。

・Fluorinert ^TM
3M公司制造的氟基惰性液体的总称。基本结构是全氟化碳（PFC）。除了高绝缘性能外，它还具有高导热性，因此被用作电气设备的冷却应用。

・GARDEN®
索尔维制造的氟基惰性液体的总称。基本结构是全氟聚醚（PFPE）。使用温度范围宽，部分型号即使在200℃以上的高温环境下也能使用。

氟基惰性液体的性质

・高电绝缘性

・高密度（1650～1900 [kg/m3]）

・低粘度

・高导热性

・高热稳定性

・高化学稳定性和惰性

・不易燃，毒性低，安全

氟基惰性液体的典型应用

由于上述特性，氟基惰性液体在许多应用中都有使用，但这里只介绍一些典型应用。

(1) 气密性试验

为了防止水分侵入和芯片上发生电反应，电子设备必须具有完全密封的结构。氟基惰性液体粘度低，不仅非常适合评估气密性，而且由于它们是惰性的，因此不会腐蚀或劣化电子元件。另外，测试后也不需要清洗，因此被广泛用作气密性测试的测试层介质。

(2) 溶剂・清洁剂

氟基惰性液体的表面张力低，粘度也低，即使是很小的缝隙也能渗透到每个角落并清洁。用于产品加工后的脱脂、清洗。

(3) 冷却

直接浸没式冷却

氟化惰性液体具有高导热性、电绝缘性和惰性等特性，因此可以通过将电子设备直接浸入液体中来冷却电子设备。这比风冷电子设备的效率要高得多，并且可以显着减少冷却所需的安装空间和电力消耗。
例）服务器浸没式冷却
据称，到2030年，将有超过100万亿个传感器连接到互联网，并收集大量数据。与传统的风冷不同，对整个设备采用液浸冷却,可以在不占用大量空间的情况下降低能耗并实现高效冷却。 近年来，这种冷却方法持续显着发展，在某些情况下已被引入冷却更大容量的超级计算机。

间接循环冷却

通过使用热交换器将氟类惰性液体控制在恒定温度的同时使其循环，可以间接地维持目标物体的温度。由于其高绝缘性能，可有效防止电解腐蚀，且易于维护。由于其不易燃且安全性高，因此也适用于洁净室的冷却设备。
例）各种半导体制造设备的温度控制
曝光设备、干法蚀刻设备（电极）、溅射设备、CVD设备等
凭借其出色的电绝缘性,并且提高了可维护性，并且可以处理从超低温到高温的广泛温度范围。

上一项：1-1。为什么要用水来冷却？
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