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溅射装置的冷却水温度调节(PCU-NE 系列)

溅射装置的冷却水温度调节(PCU-NE 系列)

现有的冷水机在发生故障时已更新为无氟利昂冷媒冷水机PCU-NE 系列。应用领域是溅射设备的冷却水温度控制。当冷却水温度过高时,溅射设备会紧急停机,从而在生产昂贵的工件时造成重大损失。无氟利昂冷媒冷水机控制精度- 对流量和扬程等高产品规格进行评估后,决定采用该系统。

商品
冷水机
行业
研究所・大学/电气・精密仪器/电子元件・半导体
工序
加工/其他工序
PCU

冷水机

冷水机是一种通过在受控温度下循环水来冷却或调节热源温度的装置。工业机械被广泛应用于医疗器械、化学设备和食品机械等多种领域。 冷水机、冷水机机组、机组空调和冷却水循环装置,但它们是同义词。

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