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导入背景：原有冷水机故障，客户在改造时选择 PCU-NE 系列无氟冷水机。需求要点：由于溅射设备在冷却水温升高时会自动紧急停机，可能导致高价值工件的生产损失，因此客户对冷水机的 控制精度、流量与扬程性能 要求极高。 选用理由：高温控精度、稳定流量与高扬程性能 获得客户高度评价，最终被选为替换方案。
冷水机
チラーとは一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。Chiller、チラーユニット、ユニットクーラー、冷却水循環装置と呼ばれることもありますが同義です。
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