概要・特征
洁净风扇过滤器（FFU）
功能多样 保持洁净度
日常维护轻松简单
侧吸式 (A11FFU至A17FFU)
最大限度地减少与天花板的间隙
通过从过滤器的侧面吸入外部空气，可以将与天花板的间隙保持在最低限度。在无尘室设置场所的房顶较低或洁净室主体的高度和尺寸较大时作用明显。
轻松打造洁净环境
与恒温恒湿精密空调机（TCU/ECU）组合还可以控制温度和湿度
通过将恒温恒湿精密空调机（TCU/ECU）与风扇过滤器相结合，可以轻松构建洁净的环境。 PAU装置产生的精密空气通过HEPA过滤网，可就地供应高洁净度的洁净空气。而且，您可以根据目标空间的体积和所需的洁净度等级来选择洁净机组，轻松实现“温湿度控制”和“最佳洁净环境”。
过滤网种类
| 高性能过滤网 | 高效过滤网 | ULPA过滤网 | |
|---|---|---|---|
| 使用清洁度 | 10万~20万类 | 100~1万级 | 1~10类 |
| 使用案例 | 一般办公室等 | IC后制程、液晶制程等 | IC前制程等 |
| 能力 | 比粗尘过滤网更高 | 99.97% 的 0.3 μm 颗粒 |
99.99% 0.1 μm 颗粒 |
ULPA 规范可兼容
过滤等级也可以提升到超高性能过滤网(ULPA)。 *货期请另行咨询。
清洁度规格
| 等级 | 100 | 1,000 | 10,000 | 100,000 |
|---|---|---|---|---|
| 换气次数 | 250~400次 | 150次 | 75次 | 20次 |
| 粒子数 | 3,530/m 3 | 35,300/m 3 | 353,000/m 3 | 3,530,000/m 3 |
| 100/ft 3 | 1,000/ft 3 | 10,000/ft 3 | 100,000/ft 3 | |
| 风速 | 0.2~0.4m/s | 0.1~0.2m/s | 0.05~0.07m/s | 0.05~0.04m/s |
