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真空蒸镀装置的冷却(PCU-R 系列)

真空蒸镀装置的冷却(PCU-R 系列)

导入背景:客户使用真空蒸镀设备,需实现膜厚的高精度控制与均匀成膜。 选用理由:PCU-R 系列具备 ±0.05℃ 高精度控温,并通过多级涡旋泵系统实现无脉动供水。导入效果:Apiste卓越的温度稳定性与流量控制性,实现了稳定、均匀的成膜过程,获得客户高度认可。

商品:
冷水机
業界:
研究所・大学 / 電気・精密機器 / 電子部品・半導体
工程:
加工 / その他工程
PCU

冷水机

チラーとは一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。Chiller、チラーユニット、ユニットクーラー、冷却水循環装置と呼ばれることもありますが同義です。

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