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通过将冷却水温调节到一定的温度，保持反应室、等离子体电极、基板的最佳温度。
冷水机
冷水机是一种通过在受控温度下循环水来冷却或调节热源温度的装置。工业机械被广泛应用于医疗器械、化学设备和食品机械等多种领域。 冷水机、冷水机机组、机组空调和冷却水循环装置，但它们是同义词。
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