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高真空泵和水封式的真空泵，冷却水温度上升的话，真空度会下降。将冷却水温度冷却至一定温度，可缩短加工时间、提高品质。
冷水机
チラーとは一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。Chiller、チラーユニット、ユニットクーラー、冷却水循環装置と呼ばれることもありますが同義です。
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