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在光刻/曝光设备中，为了抑制光掩膜（Photo Mask）的热胀冷缩，需要持续供应冷却空气以保持温度稳定。Apiste 的PAU系列精密空调机可同时实现对温度、湿度及洁净度的高精度控制，为半导体与光学曝光工艺提供理想的空气环境。
恒温恒湿精密空调机
精密空調機とは、研究施設、クリーンルーム、精密機器を扱う工場などで使用される、高度な温度・湿度管理が可能な空調機のことです。精密空調機は一般的なオフィスや家庭用のエアコン・空調機と比べて、温度や湿度の精度が高く、局所的に必要な箇所を空調できるのが特徴です。
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