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在旋转涂布工艺中，若环境温湿度未得到控制，涂液的粘度会随温度和湿度变化而波动，导致扩散速度与附着性不稳定，从而产生膜厚不均的问题。通过导入Apiste 精密空调机 PAU 系列，可对周围环境的 温度与湿度进行精确控制，有效防止涂液粘度变化，显著提升涂布工艺的一致性与良率。
恒温恒湿精密空调机
精密空調機とは、研究施設、クリーンルーム、精密機器を扱う工場などで使用される、高度な温度・湿度管理が可能な空調機のことです。精密空調機は一般的なオフィスや家庭用のエアコン・空調機と比べて、温度や湿度の精度が高く、局所的に必要な箇所を空調できるのが特徴です。
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