สถานที่ใกล้เคียง
1-1.เครื่องปรับอากาศแม่นยำและห้องสะอาด
เราอธิบายการควบคุมอุณหภูมิและความชื้นโดยใช้เครื่องปรับอากาศความแม่นยำและความสะอาดห้องคลีนรูม
(1) เครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรมและเงื่อนไขเฉพาะกระบวนการ
เครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรม (Industrial Air Conditioning) คือเครื่องปรับอากาศที่ใช้สำหรับวัตถุประสงค์ทางอุตสาหกรรม ตามชื่อที่บ่งบอก ในกระบวนการผลิตของโรงงาน วัตถุประสงค์คือการรักษาสภาพแวดล้อมการทำงานของพนักงานและรักษาและปรับปรุงการควบคุมคุณภาพผลิตภัณฑ์ และในการวิจัยและพัฒนา วัตถุประสงค์คือการประเมินผลิตภัณฑ์และรักษาความแม่นยำในการวิเคราะห์ให้คงที่ ดังนั้น สภาวะการปรับอากาศที่จำเป็นสำหรับเครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรมจึงแตกต่างกันไปตามการใช้งาน ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา การควบคุมคุณภาพผลิตภัณฑ์ได้กลายเป็นประเด็นสำคัญในอุตสาหกรรมการผลิต การจัดการเครื่องปรับอากาศคุณภาพสูงได้รับความสนใจในฐานะมาตรการที่มีประสิทธิภาพ และขอบเขตการใช้งานของเครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรมก็กำลังขยายตัวมากขึ้น ปัจจุบัน เครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรมได้กลายเป็นส่วนสำคัญในกระบวนการผลิตของโรงงาน
(2) ความสะอาดและห้องพักสะอาด
สภาวะอุณหภูมิและความชื้นของแต่ละกระบวนการในระบบปรับอากาศอุตสาหกรรม
อุตสาหกรรม | กระบวนการ | สภาวะอุณหภูมิ | สภาวะความชื้น |
---|---|---|---|
สารกึ่งตัวนำ | การพิมพ์หินด้วยแสง | 22 ถึง 24°C ±0.2°C หรือต่ำกว่า | 45~50%±2~5% |
การกัดแห้ง | 22 ถึง 24°C ± 2°C หรือต่ำกว่า | 45 ถึง 50% ±5% หรือน้อยกว่า | |
การสปัตเตอร์ | 22 ถึง 24°C ± 2°C หรือต่ำกว่า | 45 ถึง 50% ±5% หรือน้อยกว่า | |
เภสัชภัณฑ์ | การเก็บรักษาผง | 24°C ±3°C หรือต่ำกว่า | 30~50% |
การบีบอัดแท็บเล็ต | 24°C ± 2°C หรือต่ำกว่า | 20~40% | |
การวิเคราะห์มหภาค/ซีรั่ม | 24°C ± 2°C หรือต่ำกว่า | 50% | |
เลนส์ออปติก | การขัดเงา | 25°C ± 2°C หรือต่ำกว่า | 50±5% |
พิมพ์ | การพิมพ์ | 24 ถึง 27°C ± 5°C หรือต่ำกว่า | 50±2% |
การตัด, การอบแห้ง, การติดกาว ฯลฯ | 21~27℃ | 45~50% | |
อาหาร | ขนมปังสด | 24~26.5℃ | 40~50% |
การจัดเก็บวัตถุดิบ | 26.5~29.5℃ | 80~85% |
*รายการข้างต้นเป็นเพียงแนวทางทั่วไปเท่านั้น อุณหภูมิและความชื้นอาจแตกต่างกันไปตามสภาพแวดล้อม
ความสะอาด
การปรับปรุงความแม่นยำของการควบคุมสิ่งแวดล้อมเป็นมาตรการหนึ่งที่มีประสิทธิภาพในการเพิ่มผลผลิตและยกระดับคุณภาพ หนึ่งในองค์ประกอบสำคัญของการควบคุมสิ่งแวดล้อมคือการจัดการ "ความสะอาด" ความสะอาดเป็นการวัดระดับการปนเปื้อนของอากาศภายในพื้นที่ตามมาตรฐานที่กำหนด เดิมทีมาตรฐานนี้ถูกกำหนดขึ้นเพื่อวัดความสะอาดของอากาศภายในห้องสะอาด แต่ด้วยความก้าวหน้าของเทคโนโลยีการแยกสิ่งแวดล้อม การประยุกต์ใช้มาตรฐานนี้จึงขยายตัวมากขึ้น และปัจจุบันได้นำไปใช้ในพื้นที่อื่นๆ นอกเหนือจากห้องสะอาดที่มีการควบคุมความสะอาด
ห้องสะอาด
ห้องสะอาด (Clean Room) คือห้องพิเศษที่ใช้เพื่อทำความสะอาดและรักษาความสะอาดของพื้นที่ ห้องสะอาดสามารถแบ่งได้เป็นสองประเภทตามวัตถุประสงค์การใช้งาน ประเภทแรกคือ "ห้องสะอาดอุตสาหกรรม (ICR)" ซึ่งใช้ในงานอุตสาหกรรมเพื่อควบคุมอนุภาคในอากาศ และอีกประเภทหนึ่งคือ "ห้องสะอาดทางชีวภาพ (BCR)" ซึ่งใช้ในอุตสาหกรรมเทคโนโลยีชีวภาพ การแพทย์ และอาหารเพื่อควบคุมจุลินทรีย์ในอากาศ ห้องสะอาดยังสามารถจำแนกประเภทตามวิธีการไหลของอากาศ เช่น "วิธีไหลลง" หรือ "วิธีปั่นป่วน" ห้องสะอาดให้ความสะอาดระดับสูงโดยใช้อากาศสะอาดเพื่อระบายหรือเจือจางอนุภาคในอากาศ ซึ่งเป็นปัจจัยด้านสิ่งแวดล้อมที่ส่งผลต่อความสะอาด นอกจากนี้ อาจจำเป็นต้องควบคุมปัจจัยด้านสิ่งแวดล้อม เช่น อุณหภูมิ ความชื้น และความดันตามความจำเป็น
ประเภทของห้องคลีนรูม
ห้องคลีนรูมอุตสาหกรรม (ICR) | คริสตัลเหลว เซมิคอนดักเตอร์ LSI ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ความแม่นยำ การพิมพ์ การแกะสลัก การสะสม แผงวงจรพิมพ์ เลนส์ แผ่นดิสก์ออปติคัล การผลิตผง การผลิตวัตถุดิบ ฯลฯ |
---|---|
ห้องสะอาดทางชีวภาพ (BCR) | โรงงานยา ห้องผ่าตัด ห้องทารกแรกเกิด การแปรรูปเนื้อสัตว์ การเพาะเห็ด การเพาะพืช โรงเบียร์ โรงงานเทคโนโลยีชีวภาพ สิ่งอำนวยความสะดวกในการทดสอบทางพันธุกรรม ฯลฯ |
(3) มาตรฐานและระดับความสะอาด (ความสะอาด)
คลาส (ความสะอาด) คือ มาตรฐานที่กำหนดปริมาณอนุภาคในพื้นที่
ปัจจุบันมีการนำมาตรฐาน ISO ที่เป็นมาตรฐานเดียวกันในระดับสากลมาใช้ แต่มาตรฐานของรัฐบาลกลางสหรัฐฯ "FED-STD-209D" ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอดีตก็ยังคงใช้กันอย่างแพร่หลายอยู่
ISO14644-1
ข้อกำหนดนี้ใช้กับอนุภาคที่มีขนาด 0.1 ไมโครเมตรขึ้นไปต่อลูกบาศก์เมตรของอากาศ และจะถูกจัดประเภทเป็นคลาส 1 ถึง 9 โดยคลาสจะแบ่งออกเป็นตัวเลข หากจำนวนอนุภาคต่อลูกบาศก์เมตรของอากาศเท่ากับ 10 อนุภาคหรือน้อยกว่า จะจัดเป็นคลาส 1 หากเท่ากับ 100 อนุภาคหรือน้อยกว่า จะจัดเป็นคลาส 2 เป็นต้น
เฟด-สตด-209ดี
พิจารณาจากจำนวนอนุภาคที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 0.5 ไมโครเมตร ที่มีอยู่ในอากาศ 1 ลูกบาศก์ฟุต (1 ฟุต = ประมาณ 30 เซนติเมตร) ในพื้นที่เป้าหมาย หากจำนวนอนุภาคแขวนลอยในอากาศ 1 ลูกบาศก์ฟุตน้อยกว่าหรือเท่ากับ 100 อนุภาค จะจัดอยู่ในประเภท "คลาส 100" และหากน้อยกว่าหรือเท่ากับ 1,000 อนุภาค จะจัดอยู่ในประเภท "คลาส 1,000"
การวัดขนาดอนุภาคและความเข้มข้นสูงสุดตามระดับความสะอาดของอากาศ
ชั้นเรียนความสะอาด | ความเข้มข้นสูงสุด (ชิ้น/ลบ.ม.) ความเข้มข้นสูงสุด (ชิ้น/ลบ.ม.) | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
มาตรฐานสากลที่เป็นหนึ่งเดียว ISO 14644-1 |
มาตรฐานของรัฐบาลกลาง เฟด-สตด-209ดี |
ขนาดอนุภาคที่วัดได้ | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1.0μm | 5.0μm | ||
クラス1 | 10 | 2 | |||||
クラス2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
クラス3 | 1 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
クラス4 | 10 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
クラス5 | 100 | 100,000 | 23.700 | 10,200 | 3.520 | 832 | 29 |
クラス6 | 1,000 | 1,000,000 | 237,000 | 102.000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
クラス7 | 10,000 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
クラス8 | 100,000 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
クラス9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
(4) รายการอื่นๆ ที่เกี่ยวข้องกับความสะอาด
ประเภทตัวกรอง
ฝุ่นหยาบ กรอง |
ประสิทธิภาพปานกลางถึงสูง กรอง |
แผ่นกรอง HEPA กรอง |
ยูแอลพีเอ กรอง |
ซุปเปอร์อัลปา กรอง |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ใช้ความสะอาด | ไม่มีอะไรเป็นพิเศษ | ชั้น 100,000 ถึง 200,000 | ชั้น 100 ถึง 1,000 | ชั้น 10 ถึง 100 | ชั้นเรียน 1 ถึง 10 | |||||
ตัวอย่างการใช้งาน | สำนักงานทั่วไป ฯลฯ | สำนักงานทั่วไป ฯลฯ | การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หลังกระบวนการ ฯลฯ |
กระบวนการส่วนหน้าของเซมิคอนดักเตอร์ สายการผลิต ฯลฯ |
กระบวนการผลิตแบบ Ultra-LSI | |||||
ความสามารถ | ในระดับที่สามารถรวบรวมสิ่งแปลกปลอม ฝุ่นละออง ฯลฯ | ความสามารถในการเก็บฝุ่นสูงกว่าตัวกรองฝุ่นหยาบ | อนุภาคขนาด 0.3 ไมโครเมตร จับภาพได้ 99.97% มีความสามารถ |
อนุภาคขนาด 0.15 ไมโครเมตร จับภาพได้ 99.9995% มีความสามารถ |
อนุภาคขนาด 0.15 ไมโครเมตร จับภาพได้ 99.9999% มีความสามารถ |
|||||
วิธีการเป่าลม | กระแสลมปั่นป่วน | การระบายอากาศแบบไหลลง |
ตัวกรองอื่นๆ
ตัวกรองคาร์บอนกัมมันต์ | ตัวกรองเคมี | |
---|---|---|
คำอธิบาย | การดูดซับแอมโมเนีย กรดอะซิติก ก๊าซอัลดีไฮด์ VOCs ฯลฯ | สารมลพิษทางเคมี การกำจัดสารปนเปื้อนในระดับโมเลกุล |
วัตถุประสงค์ | แอปพลิเคชั่นดับกลิ่น | กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และ LCD |
แนวทางความถี่ในการระบายอากาศ
ชั้นเรียนห้องสะอาด | ค่าทั่วไป | มาตรฐาน USA209E | ความเร็วลมเฉลี่ย |
---|---|---|---|
ชั้น 100,000 | 20-30 ครั้ง/ชม. | 20 | .005-.041 เมตร/วินาที |
ชั้น 10,000 | 30-70 ครั้ง/ชม. | 75 | .051-.076 เมตร/วินาที |
ชั้น 1,000 | 100-200 ครั้ง/ชม. | 150 | .127-.203 เมตร/วินาที |
ชั้น 100 | 200-600 ครั้ง/ชม. | 250~400 | .203-.408 เมตร/วินาที |
อัตราการระบายอากาศต่อชั่วโมง (ครั้ง/ชม.) = ความเร็วลมเฉลี่ย (ม./วินาที) x พื้นที่ทางออกของอากาศ (ตร.ม.) x 3600 วินาที ÷ ปริมาตรพื้นที่ (ตร.ม.)
วิธีการระบายอากาศโดยทั่วไป
วิธีการไหลลง | วิธีการปั่นป่วน | วิธีการทั่วไปอื่น ๆ | |
---|---|---|---|
|
|
|
|
ความสะอาด | ชั้น 10 ถึง 1,000 | ชั้น 1,000 ขึ้นไป | ชั้น 10,000 ขึ้นไป |
คุณสมบัติ | อุณหภูมิ ความชื้น และความสะอาดกระจายตัวได้อย่างทั่วถึง การติดตั้งมีข้อจำกัดเนื่องจากต้องมีท่อส่งลมบนเพดานและพื้น | การจัดการก็ง่าย พื้นที่มีโซนไม่เท่ากันเกิดขึ้นทั้งสี่มุม |
ความไม่สม่ำเสมออาจเกิดขึ้นตามสัดส่วนระยะห่างจากทางออก |
อักษรย่อ ค่าใช้จ่าย |
แพง | ราคาแพงนิดหน่อย | ราคาถูก |
วิ่ง ค่าใช้จ่าย |
แพง | ราคาแพงนิดหน่อย | ราคาค่อนข้างถูก |
ไม่ใช่ ควบคุม โซน |
น้อย | เกิดขึ้นที่มุมทั้งสี่ | เกิดขึ้นที่จุดที่ไกลที่สุดของการระเบิด |
การสอบถาม
สำหรับการสอบถามผลิตภัณฑ์, การขอใบเสนอราคา, ฯลฯ
โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา