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通过将冷却水温调节到一定的温度，保持反应室、等离子体电极、基板的最佳温度。
冷水机
冷水机是一种通过循环恒温水来冷却或调节热源温度的设备。它广泛应用于各种领域，包括工业机械、医疗设备、化学设备以及食品加工机械。冷水机有时也被称为冷却器、冷水机组、单元空调或冷却水循环系统，但这些名称都是同义词。
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