ทำความสะอาดพัดลมกรองอากาศ
รายการรุ่น
| แบบอย่าง | ปริมาณอากาศแปรรูป (ม. 3 /นาที)* |
ประสิทธิภาพการเก็บฝุ่น | ||
|---|---|---|---|---|
| PAU-01FFU | ประมาณ 0.8/0.9 หรือมากกว่า | 99.97% หรือมากกว่าสำหรับอนุภาค 0.3 μm | รายละเอียดสินค้า | |
| PAU-03FFU | ประมาณ 2.8/3.0 ขึ้นไป | 99.97% หรือมากกว่าสำหรับอนุภาค 0.3 μm | รายละเอียดสินค้า | |
| PAU-05FFU | ประมาณ 4.8/5.0 ขึ้นไป | 99.97% หรือมากกว่าสำหรับอนุภาค 0.3 µm | รายละเอียดสินค้า | |
| PAU-A11FFU | 11 หรือมากกว่า | 99.97% หรือมากกว่าสำหรับอนุภาค 0.3 μm | รายละเอียดสินค้า | |
| PAU-A14FFU | 14 หรือมากกว่า | 99.97% หรือมากกว่าสำหรับอนุภาค 0.3 μm | รายละเอียดสินค้า | |
| PAU-A17FFU | 17 ขึ้นไป | 99.97% หรือมากกว่าสำหรับอนุภาค 0.3 μm | รายละเอียดสินค้า | |
| PAU-A11FFU-ULPA | 9 หรือมากกว่า | 99.999% หรือมากกว่าสำหรับอนุภาค 0.1 μm | รายละเอียดสินค้า | |
| PAU-A14FFU-ULPA | 12 หรือมากกว่า | 99.999% หรือมากกว่าสำหรับอนุภาค 0.1 μm | รายละเอียดสินค้า | |
| PAU-A17FFU-ULPA | 14 หรือมากกว่า | 99.999% หรือมากกว่าสำหรับอนุภาค 0.1 μm | รายละเอียดสินค้า |
* ค่าเฉลี่ยโดยไม่มีการโหลด
คุณสมบัติของหน่วยกรองพัดลมสะอาด
ทำความสะอาดพัดลมกรองอากาศ
ให้อากาศบริสุทธิ์ด้วยแผ่นกรอง HEPA
อากาศบริสุทธิ์มาจากชุดกรองพัดลมที่ติดตั้งในแผ่นกรอง HEPA
ฟังก์ชั่นที่ครอบคลุมเพื่อรักษาระดับความสะอาด
เซ็นเซอร์วัดความเร็วลมที่พัฒนาขึ้นใหม่พร้อมตัวต้านทานลวดแบบทำความร้อน
ป้องกันไม่ให้ความถี่การระบายอากาศหล่น
ติดตั้งเซ็นเซอร์วัดความเร็วลมที่พัฒนาขึ้นใหม่พร้อมตัวต้านทานลวดแบบทำความร้อน เซ็นเซอร์ตรวจจับการสูญเสียความเร็วลมเนื่องจากการอุดตันของตัวกรองเพื่อป้องกันไม่ให้ความถี่การช่วยหายใจลดลงหลังจากความเร็วลมลดลง
ฟังก์ชั่นการวินิจฉัยการอุดตัน
ป้องกันความเร็วลมลดลงเนื่องจากการอุดตันของตัวกรอง
เมื่อความเร็วลมลดลงเนื่องจากการอุดตันของตัวกรอง ฯลฯ การเตือนจะสว่างขึ้นโดยอัตโนมัติและสามารถส่งคำเตือนภายนอกได้ ทริมเมอร์แบบปรับได้เพื่อกำหนดระดับความเร็วลมยังถูกติดตั้งเป็นตัวเลือกมาตรฐานอีกด้วย
ฟังก์ชันควบคุมความเร็วลมแบบปรับได้ (05FFU)
ช่วยให้ความเร็วลมเพิ่มขึ้นเมื่อมันลดลง
การไหลของอากาศของมอเตอร์พัดลมระบายอากาศที่ติดตั้งในชุดกรองพัดลมสามารถปรับได้ตามระดับเสียง สามารถปรับการไหลของอากาศอย่างละเอียดหรือเพิ่มการไหลของอากาศได้เมื่ออากาศลดลงเนื่องจากการสูญเสียแรงดัน
ความสามารถในการบำรุงรักษาที่ดีเยี่ยมของตัวกรอง
ประเภทการบำรุงรักษาด่วนด้วยการล็อคแบบกดครั้งเดียว (01FFU - 05FFU)
เปลี่ยนได้ง่ายด้วยความต้องการเครื่องมือ
ใช้ล็อคแบบสัมผัสเดียวเพื่อให้เปลี่ยนแผ่นกรอง HEPA ได้อย่างง่ายดาย สามารถถอดและเปลี่ยนแผ่นกรอง HEPA ได้โดยไม่ต้องใช้เครื่องมือ
ดูดด้านข้าง （A11FFU～A17FFU）
ลดระยะห่างด้วยเพดาน
การดูดอากาศภายนอกจากด้านข้างของชุดกรองพัดลมทำให้สามารถรักษาระยะห่างจากเพดานให้เหลือน้อยที่สุดได้ สิ่งนี้มีประโยชน์เมื่อเพดานของตำแหน่งการติดตั้งคลีนบูธต่ำ หรือเมื่อความสูงและขนาดของตัวคลีนบูธมีขนาดใหญ่
ประเภทการบำรุงรักษาด้านล่าง （A11FFU～A17FFU）
สามารถหลีกเลี่ยงการบำรุงรักษาที่ความสูงได้
สามารถเปลี่ยนแผ่นกรอง HEPA ได้จากภายในตู้ สามารถหลีกเลี่ยงการบำรุงรักษาที่สูงได้
สามารถสร้างสภาพแวดล้อมที่สะอาดได้อย่างง่ายดาย
นอกจากนี้ยังสามารถควบคุมอุณหภูมิและความชื้นได้ด้วยการรวมเข้ากับ เครื่องปรับอากาศความแม่นยำสูง (TCU/ECU)
สามารถสร้างสภาพแวดล้อมที่สะอาดได้อย่างง่ายดายด้วยการรวม เครื่องปรับอากาศความแม่นยำสูง (TCU/ECU) เข้ากับชุดกรองพัดลม ด้วยการส่งอากาศที่มีความแม่นยำซึ่งผลิตโดยหน่วย PAU ผ่านแผ่นกรอง HEPA ทำให้สามารถจ่ายอากาศสะอาดที่มีระดับความสะอาดสูงในพื้นที่ได้ นอกจากนี้ ยังสามารถบรรลุ "การควบคุมอุณหภูมิและความชื้น" และ "สภาพแวดล้อมที่เหมาะสมที่สุดในการทำความสะอาด" โดยคุณสามารถเลือกหน่วยทำความสะอาดตามปริมาตรของพื้นที่เป้าหมายและระดับความสะอาดที่ต้องการ
ประเภทของตัวกรอง
| ตัวกรองประสิทธิภาพสูง | แผ่นกรอง HEPA | ตัวกรอง ULPA | |
|---|---|---|---|
| ระดับความสะอาดในการทำงาน | ชั้น 10～200,000 | ชั้น 100～10,000 | ชั้น 1～10 |
| ตัวอย่างการใช้งาน | สำนักงานทั่วไป ฯลฯ | กระบวนการหลัง IC กระบวนการผลึกเหลวเป็นต้น | IC ก่อนกระบวนการ ฯลฯ |
| ความจุ | ความสามารถในการดักจับที่สูงกว่าตัวกรองฝุ่นแบบหยาบ | 99.97% ของอนุภาค 0.3 ไมครอน มีความสามารถในการจับ |
99.99% ของอนุภาค 0.1 μm มีความสามารถในการจับ |
เข้ากันได้กับข้อกำหนด ULPA ด้วย
ระดับของตัวกรองยังสามารถยกระดับเป็นตัวกรองประสิทธิภาพสูงพิเศษ (ULPA) * ตรวจสอบระยะเวลาในการจัดส่ง
มาตรฐานระดับความสะอาด
| ระดับ | 100 | 1,000 | 10,000 | 100,000 |
|---|---|---|---|---|
| ความถี่ในการระบายอากาศ | 250~400 ครั้ง | 150 ครั้ง | 75 ครั้ง | 20 ครั้ง |
| จำนวนอนุภาค | 3,530/ม. 3 | 35,300/ม. 3 | 353,000/ม. 3 | 3,530,000/m 3 |
| 100/ฟุต 3 | 1,000/ฟุต 3 | 10,000/ฟุต 3 | 100,000/ฟุต 3 | |
| ความเร็วลม | 0.2～0.4m/s | 0.1~0.2m/s | 0.05~0.07m/s | 0.05~0.04m/s |