3.ความจำเป็นของเครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรม
3.ความจำเป็นของเครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรม
3-2. เครื่องปรับอากาศที่แม่นยำและห้องสะอาด
ส่วนนี้อธิบายการควบคุมอุณหภูมิและความชื้นในเครื่องปรับอากาศที่แม่นยำและระดับความสะอาดของห้องปลอดเชื้อ
(1) เครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรมและเงื่อนไขตามกระบวนการ
ตามชื่อของมัน เครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรมคือเครื่องปรับอากาศที่ใช้สำหรับงานอุตสาหกรรม ในกระบวนการผลิตของโรงงาน วัตถุประสงค์ของการปรับอากาศอุตสาหกรรมคือการรักษาและปรับปรุงสภาพแวดล้อมการทำงานของคนงานและการควบคุมคุณภาพของผลิตภัณฑ์ ในด้านการวิจัยและการพัฒนา วัตถุประสงค์คือเพื่อรักษาเสถียรภาพในการประเมินผลิตภัณฑ์และความแม่นยำในการวิเคราะห์ ดังนั้นเงื่อนไขการปรับอากาศที่จำเป็นสำหรับเครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรมจึงแตกต่างกันไปตามการใช้งาน เมื่อเร็ว ๆ นี้การควบคุมคุณภาพของผลิตภัณฑ์เป็นปัญหาสำคัญในอุตสาหกรรมการผลิต การควบคุมเครื่องปรับอากาศคุณภาพสูงได้ดึงดูดความสนใจในฐานะหนึ่งในมาตรการที่มีประสิทธิภาพมากที่สุดสำหรับจุดประสงค์นี้ และขอบเขตของเครื่องปรับอากาศในโรงงานอุตสาหกรรมก็กำลังขยายออกไปอีก เครื่องปรับอากาศอุตสาหกรรมกลายเป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในกระบวนการผลิตของโรงงานในปัจจุบัน
(2) ระดับความสะอาดและห้องสะอาด
ตารางที่ 1 อุณหภูมิและความชื้นโดยกระบวนการปรับอากาศอุตสาหกรรม
อุตสาหกรรม | กระบวนการ | สภาพอุณหภูมิ | สภาพความชื้น |
---|---|---|---|
เซมิคอนดักเตอร์ | โฟโตลิโทกราฟี | 22~24℃±0.2℃ หรือน้อยกว่า | 45~50%±2~5% |
การกัดแบบแห้ง | 22~24℃±2℃ หรือน้อยกว่า | 45~50%±5% หรือน้อยกว่า | |
สปัตเตอร์ | 22~24℃±2℃ หรือน้อยกว่า | 45~50%±5% หรือน้อยกว่า | |
เภสัชกรรม | การจัดเก็บผงเคมีภัณฑ์ | 24℃±3℃ หรือน้อยกว่า | 30~50% |
โต๊ะ | 24℃±2℃ หรือน้อยกว่า | 20~40% | |
ไมโครวิเคราะห์/เซรั่มในเลือด | 24℃±2℃ หรือน้อยกว่า | 50% | |
เลนส์ออปติคอล | บด | 25℃±2℃ หรือน้อยกว่า | 50±5% |
การพิมพ์ | การพิมพ์ | 24~27℃±5℃ หรือน้อยกว่า | 50±2% |
การตัด การทำให้แห้ง การวาง ฯลฯ | 21~27℃ | 45~50% | |
อาหาร | ขนมปังสด | 24~26.5℃ | 40~50% |
การจัดเก็บวัตถุดิบ | 26.5~29.5℃ | 80~85% |
*รายการด้านบนเป็นเพียงคำแนะนำทั่วไป สภาพอุณหภูมิและความชื้นแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับสภาพแวดล้อม
ระดับความสะอาด
หนึ่งมาตรการที่มีประสิทธิภาพในการปรับปรุงผลผลิตและคุณภาพของผลิตภัณฑ์คือการปรับปรุงความถูกต้องของการควบคุมสิ่งแวดล้อม ปัจจัยสำคัญประการหนึ่งในการควบคุมสิ่งแวดล้อมคือการจัดการระดับความสะอาด ระดับความสะอาดหมายถึงขอบเขตของมลพิษทางอากาศภายในพื้นที่ตามเกณฑ์บางประการ มาตรฐานนี้ตั้งขึ้นเพื่อวัดระดับความสะอาดของอากาศในห้องปลอดเชื้อ แต่เมื่อรวมกับความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีการแยกสิ่งแวดล้อม การใช้งานได้ขยายไปสู่พื้นที่อื่นนอกเหนือจากห้องสะอาดที่ต้องควบคุมความสะอาด
ทำความสะอาดห้อง
ห้องสะอาดเป็นห้องพิเศษเพื่อให้ได้และรักษาความสะอาดของพื้นที่ ห้องคลีนรูมสามารถแบ่งออกได้เป็น 2 ประเภท ขึ้นอยู่กับวัตถุประสงค์ในการใช้งาน ประเภทหนึ่งคือ Industrial Clean Room ICR ซึ่งมีวัตถุประสงค์เพื่อควบคุมอนุภาคลอยในอากาศที่ใช้ในงานอุตสาหกรรม อีกประเภทหนึ่งคือ Biological Clean Room (BCR) ที่ใช้ในอุตสาหกรรมเทคโนโลยีชีวภาพ การแพทย์ และอาหาร เพื่อควบคุมจุลินทรีย์ที่ลอยอยู่ในอากาศเป็นหลัก ห้องคลีนรูมยังจำแนกตามวิธีการไหลของอากาศ เช่น "วิธีการไหลลง", "วิธีการไหลแบบปั่นป่วน" เป็นต้น ห้องสะอาดมีระดับความสะอาดสูงโดยการปล่อยหรือเจือจางอนุภาคลอยในอากาศซึ่งเป็นปัจจัยด้านสิ่งแวดล้อมของความสะอาดโดยใช้อากาศบริสุทธิ์ นอกจากนี้ หากจำเป็น อาจจำเป็นต้องควบคุมปัจจัยแวดล้อม เช่น อุณหภูมิ ความชื้น ความดัน เป็นต้น
ตารางที่ 3 ประเภทห้องคลีนรูม
ห้องคลีนรูมอุตสาหกรรม (ICR) | ผลึกเหลว, เซมิคอนดักเตอร์, LSI, ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์, เครื่องมือวัดความเที่ยง, การพิมพ์, การแกะสลัก, การสะสม, แผงวงจรพิมพ์, เลนส์, ออปติคัลดิสก์, การผลิตผง, การผลิตวัตถุดิบ ฯลฯ |
---|---|
ห้องคลีนรูมชีวภาพ (BCR) | เคมีภัณฑ์ ห้องผ่าตัด ห้องทารกแรกเกิด การแปรรูปเนื้อสัตว์ การเพาะเห็ด การเพาะพันธุ์พืช ห้องต้มและทำอาหาร เทคโนโลยีชีวภาพ สิ่งอำนวยความสะดวกการทดสอบทางพันธุกรรม ฯลฯ |
(3) มาตรฐานความสะอาดและระดับ
คลาส (ระดับความสะอาด) กำหนดปริมาณของอนุภาคในพื้นที่ตามมาตรฐาน
แม้ว่ามาตรฐานต่างๆ จะถูกรวมเป็นหนึ่งเดียวกับมาตรฐาน ISO สากล แต่มาตรฐานของรัฐบาลกลางสหรัฐฯ “FED-STD-209D” ซึ่งมักใช้กันในอดีต ยังคงใช้กันอย่างแพร่หลายในปัจจุบัน
ISO14644-1
จำนวนอนุภาคขนาด 0.1 μm ขึ้นไปต่อ m3 ของอากาศ ใช้ในการจำแนกระดับความสะอาดเป็น 9 ชั้นตั้งแต่ 1 ถึง 9 จำนวนหลักกำหนดชั้น เช่น ชั้น 1 ถ้าจำนวนอนุภาคต่อ m3 ของอากาศเป็น 10 และคลาส 2 หากเป็น 100 หรือน้อยกว่า เป็นต้น
FED-STD-209D
ขึ้นอยู่กับจำนวนของอนุภาคที่มีขนาด 0.5 ไมโครเมตรในอากาศหนึ่งลูกบาศก์ฟุต (1 ฟุต = ประมาณ 30 ซม.) ในพื้นที่เป้าหมาย “Class 100” หากจำนวนอนุภาคลอยในอากาศหนึ่งลูกบาศก์ฟุตน้อยกว่า 100 และ “Class 1,000” หากน้อยกว่า 1,000
ตารางที่ 5 การวัดขนาดอนุภาคและความเข้มข้นขีดจำกัดบนตามระดับความสะอาดของอากาศ
ระดับความสะอาด | ความเข้มข้นสูงสุด (pcs/m ความเข้มข้นสูงสุด (pcs/m3)) | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
มาตรฐานเครื่องแบบสากล ISO 14644-1 |
มาตรฐานของรัฐบาลกลางสหรัฐ FED-STD-209D |
ขนาดอนุภาควัด | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1.0μm | 5.0μm | ||
ชั้น 1 | 10 | 2 | |||||
ชั้น 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ชั้น 3 | 1 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ชั้น 4 | 10 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
ชั้น 5 | 100 | 100,000 | 23.700 | 10,200 | 3.520 | 832 | 29 |
ชั้น 6 | 1,000 | 1,000,000 | 237,000 | 102.000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ชั้น 7 | 10,000 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
ชั้น 8 | 100,000 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
ชั้น 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |