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Cooling of vacuum deposition equipment

Cooling of vacuum deposition equipment

A customer using vacuum deposition equipment has adopted the PCU-R series Precision chillers. Highly stability temperature-controlled circulating water is required to precisely control film thickness and form a uniform film. The PCU-R series controls circulating water with a high stability stability of ±0.05°C, and its multi-stage centrifugal pump allows for pulsation-free water delivery, which was highly praised and led to its adoption.

商品:
Chillers
業界:
研究所・大学 / 電気・精密機器 / 電子部品・半導体
工程:
加工 / その他工程
PCU

Chillers

チラーとは一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。Chiller、チラーユニット、ユニットクーラー、冷却水循環装置と呼ばれることもありますが同義です。

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