Plasma CVD equipment

By regulating the cooling water temperature at a constant level, the reaction chamber, plasma electrodes, and substrates are kept at optimal temperatures.

商品：: Chillers
業界：: 研究所・大学 / 電気･精密機器 / 電子部品・半導体
工程：: 加工 / その他工程

Chillers

チラーとは一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。Chiller、チラーユニット、ユニットクーラー、冷却水循環装置と呼ばれることもありますが同義です。

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