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Exposure machines, etching equipment

Exposure machines, etching equipment

It is possible to control the temperature of the stage with high stability and to supply a stable amount of cooling water to the lamp, which is the heat source.
This minimizes variations between lots and improves quality.

商品:
Chillers
業界:
研究所・大学 / 電気・精密機器 / 電子部品・半導体
工程:
加工 / その他工程
PCU

Chillers

チラーとは一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。Chiller、チラーユニット、ユニットクーラー、冷却水循環装置と呼ばれることもありますが同義です。

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