exposure equipment
In exposure equipment, it is necessary to supply cool air and stabilize the temperature to prevent the expansion and contraction of photomasks.The PAU series precision air conditioner (TCU/ECU) can provide air with the required temperature, humidity, and cleanliness.
Precision air conditioners
精密空調機とは、研究施設、クリーンルーム、精密機器を扱う工場などで使用される、高度な温度・湿度管理が可能な空調機のことです。精密空調機は一般的なオフィスや家庭用のエアコン・空調機と比べて、温度や湿度の精度が高く、局所的に必要な箇所を空調できるのが特徴です。
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